溶液组成对喷雾热解法制备氟掺杂二氧化锡导电薄膜性能的影响

• 作者: 史成武 吴玉程 孙嵩泉 张志海
• 来源期刊: 硅酸盐学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 溶液组成 过氧化氢 喷雾热解 氟掺杂二氧化锡薄膜
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文,中文
• 页码范围: 87-92
• 页数: 6页
• 分类号: O484
• 字数: 4926字
• 语种: 中文

摘要

以四氯化锡和氟化铵为原料,异丙醇和水为溶剂,采用喷雾热解法,在载玻片上制备氟掺杂二氧化锡导电薄膜(fluorine-doped tin oxide,FTO).研究了网氯化锡浓度、氟化铵浓度、双氧水浓度、异丙醇与水的体积比对FTO薄膜的透光率和方块电阻的影响.运用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、紫外-可见分光光度计和四探针测试仪分别对FTO薄膜进行了表征.结果表明:在喷雾热解液中加入少量的H_2O_2(0.05mol/L)可明显提高FTO薄膜在可见光区的透光率,而不影响其方块电阻;当喷雾热解液组成为0.8mol/L SnCl_4,0.1mol/L NH_4F,0.05mol/L H_2O_2,异丙醇与水的体积比为8:2,衬底温度为500℃,喷涂100次时,所得FTO薄膜在可见光区的平均透光率为84%,方块电阻为15Ω/口,且FTO薄膜平整致密、二氧化锡晶粒均匀.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴玉程	合肥工业大学材料科学与工程学院	356	3745	28.0	45.0
2	史成武	合肥工业大学材料科学与工程学院	43	476	11.0	20.0
4	张志海	合肥工业大学材料科学与工程学院	4	33	4.0	4.0
5	孙嵩泉		2	10	2.0	2.0