脉冲电子束系统沉积高温超导薄膜研究

• 作者: 张燕 李广成 杜银霄 郭艳峰 陈雷明
• 来源期刊: 重庆科技学院学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 脉冲电子束系统 超导薄膜 靶材
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 机械·材料·建筑
• 页码范围: 98-100
• 页数: 3页
• 分类号: O484
• 字数: 1863字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-1980.2010.01.032

摘要

高温超导薄膜生长是研究超导现象和超导器件的基础,一直是凝聚态物理研究的一个重要课题.各种各样的薄膜生长方法都被应用于高温超导薄膜的生长研究.采用一种崭新的薄膜沉积设备--脉冲电子束沉积系统(PED)成功制备出了NCCO、LSCO高温超导薄膜,并通过优化沉积参数,获得了具有良好表面形貌和超导转变特性的高温超导薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张燕		6	4	1.0	2.0
2	李广成		12	7	2.0	2.0
3	陈雷明		12	50	3.0	7.0
4	杜银霄		9	17	3.0	4.0
5	郭艳峰	中国科学院物理研究所北京凝聚态物理国家重点实验室	4	5	2.0	2.0