四氯化硅氢化生产三氯氢硅技术研究

• 作者: 万烨 严大洲 毋克力 汤传斌 肖荣辉
• 来源期刊: 有色冶金节能
• 学科: 工学
• 关键词: 四氯化硅 三氯氢硅 氢化
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 页码范围: 30-32
• 分类号: TN304
• 字数: 2268字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-5122.2010.06.010

摘要

改良西门子法制备多晶硅存在的技术瓶颈是大量副产物四氯化硅难以回收利用.本文针对这一瓶颈,介绍了四氯化硅氢化生产三氯氢硅技术,并研究了反应压力、氢气与四氯化硅配比、反应温度以及硅粉层高度对该技术转化率的影响.同时,还介绍了该技术在洛阳中硅高科技有限公司的应用实例.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	严大洲		20	103	5.0	10.0
2	汤传斌		12	81	5.0	9.0
3	毋克力		2	20	2.0	2.0
4	万烨		10	37	3.0	5.0
5	肖荣辉		1	17	1.0	1.0