移相数字波面干涉仪检定平晶平面度

• 作者: 盛建国
• 来源期刊: 科技与管理（武汉）
• 学科: 工学
• 关键词: 移相干涉原理 Zemike多项式 面形偏差峰谷值 不确定度
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 页码范围: 37-43
• 页数: 7页
• 分类号: TH744.3

摘要

本文介绍我所与南京英特飞光电技术有限公司共同研发移相干涉系统，运用移相干涉原理，在菲索干涉仪基础上增加移项器、干涉仪控制器、干涉图像移项采集系统和干涉图移项分析软件，形成数字波面干涉仪，并对数字波面干涉仪的不确定度进行分析评定。