磁流变抛光光学表面加工面形控制技术研究

• 作者: 康桂文 张飞虎
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 磁流变抛光 非球面 确定性光学加工
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 页码范围: 77-79,82
• 分类号: TG58|TH117
• 字数: 2184字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-852X.2010.05.017

摘要

磁流变抛光是一种新型超精密光学表面加工方法.由于其抛光过程可控,磁流变抛光过程可以有效去除表面及亚表面破坏层,提高表面质量,修正元器件表面面形误差.抛光过程容易实现计算机数控,通过数控过程的合理设计,磁流变抛光过程可以有效地对球面及非球表面进行抛光加工.研究了实现面形修正的驻留时间算法,并对光学球面器件进行了试验加工,抛光后其表面面形误差2点峰谷值从0.17 μm降低到0.07 μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张飞虎		132	2251	25.0	41.0
2	康桂文		9	108	4.0	9.0