狭缝宽度的衍射法测量研究

• 作者: 何波 戚涛 李新 邹鹏 郑小兵
• 来源期刊: 大气与环境光学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 狭缝测量 NMOS线列探测器 光电检测系统 最小二乘法
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 页码范围: 380-389
• 分类号: TN247
• 字数: 5203字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-6141.2010.05.008

摘要

针对太阳绝对光谱辐照度仪研制过程中入射狭缝光阑高精度测量的实际需求,研制了基于激光衍射的狭缝宽度检测系统.该系统以激光作为光源,使用NMOS线列探测器作为检测传感器、以混合信号单片机C8051F为主控处理器,结合CPLD作为时序发生器和片上12位模数转换器,并采用最小二乘法对测量数据进行拟合提取条纹中心位置,实现了狭缝的高精度检测.系统可检测狭缝范围为0.02～0.5 mm,并在对太阳绝对光谱辐照度仪中标称为0.1 mm.的狭缝测量中获得了2.5×10-3μm测量不确定度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李新	中国科学院安徽光学精密机械研究所中国科学院通用光学定标与表征技术重点实验室	222	7440	44.0	79.0
2	郑小兵	中国科学院安徽光学精密机械研究所中国科学院通用光学定标与表征技术重点实验室	109	932	18.0	26.0
3	邹鹏	中国科学院安徽光学精密机械研究所中国科	19	94	5.0	9.0
4	何波	中国科学院安徽光学精密机械研究所中国科学院通用光学定标与表征技术重点实验室	5	6	2.0	2.0
5	戚涛	中国科学院安徽光学精密机械研究所中国科学院通用光学定标与表征技术重点实验室	2	1	1.0	1.0