纳米三坐标测量机的误差分析与分离1

• 作者: 夏瑞雪 杨洪涛 费业泰 陈晓怀
• 来源期刊: 安徽理工大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米三坐标测量机 误差源分析 三光束平面干涉仪 误差分离
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 页码范围: 36-40
• 分类号: TH741
• 字数: 1985字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-1098.2010.03.009

摘要

针对所研制的纳米三坐标测量机的具体结构,运用现代精度保障理论和技术,结合动、静力学相关知识,进行了纳米量级水平的误差源全面分析,对各误差的表现形式和影响进行了详细的描述,为后续的误差分配和结构优化设计打下基础.根据纳米坐标测量机的精确环境要求和所研制的纳米三坐标测量机结构、误差分布特征和精度要求,利用微型三光束平面干涉仪,设计了相关的支架组成了误差分离实验装置,实现标准量示值误差、导轨直线度线值误差和俯仰、偏摆和滚转误差的一次性分离,减小激光干涉仪发热、振动等外界环境因素对测量机误差的影响,同时避免了使用单一功能的仪器分次非实时测量带来的附加误差.实际分离实验结果验证了误差分离实验装置的有效性与可靠性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	夏瑞雪	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	13	127	6.0	11.0
2	陈晓怀	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	100	1009	16.0	25.0
3	杨洪涛	安徽理工大学机械工程学院	91	274	8.0	12.0
4	费业泰	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	222	2927	27.0	41.0