新型电极材料Sb掺杂BaSnO3薄膜的外延生长及其在铁电薄膜电容器中的应用

• 作者: 刘亲壮 吴文彬 焦兴利 王海峰
• 来源期刊: 低温物理学报
• 关键词: 电极 锡酸盐 铁电电容器
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 页码范围: 170-174
• 页数: 5页
• 语种: 中文

摘要

本文利用脉冲激光沉积技术在SrTiO3单晶衬底上生长了Sb掺杂BaSnO3(BSSO)外延薄膜.结构和输运性质测量结果显示BSSO薄膜是一种具有立方钙钛矿结构导电性很好的薄膜材料,80K时呈现金属一绝缘体转变,室温下薄膜的电阻率、载流子浓度和迁移率分别为ρ=2.43 mΩcm,n=1.65×1021 cm-3和μ=1.75 cm2/Vs.以BSSO薄膜为底电极制备了具有比较好电滞回线的Pb(Zr0.52Ti0.48)03和Bi(Mn0.05Fe0.95)O3铁电电容器,表明BS-SO薄膜是一种具有应用前景的新型电极材料.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王海峰		87	676	13.0	21.0
2	刘亲壮		4	0	0.0	0.0
3	吴文彬		14	7	2.0	2.0
4	焦兴利		3	0	0.0	0.0