电子级磷酸工业化战略及其配套技术

• 作者: 殷宪国
• 来源期刊: 硫磷设计与粉体工程
• 学科: 工学
• 关键词: 磷酸+电子级 电子化学品 工业化战略 技术
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 所属期刊栏目: 专题论述
• 页码范围: 15-19
• 页数: 5页
• 分类号: TQ126.35
• 字数: 5555字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-1904.2010.02.003

摘要

为了适应半导体芯片、液晶制造业向中国转移,半导体芯片和集成电路微细加工、薄膜-液晶制造工艺需要的电子级磷酸包括MOS级、BV级万吨规模工业化装置正在各地建设.提出了发展我国电子级磷酸的工业化战略,并提出了与电子级磷酸制备工艺相关的配套技术开发意见和建议.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	殷宪国		22	88	6.0	7.0