西门子法生产多晶硅过程中尾气的分离及综合利用

• 作者: 侯彦青 俞小花 宋东明 李荣兴 谢刚
• 来源期刊: 化学工业与工程
• 学科: 工学
• 关键词: 西门子法 多晶硅 尾气处理
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 页码范围: 551-555
• 分类号: TQ127.2
• 字数: 4724字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-9533.2010.06.016

摘要

综述了多晶硅生产过程中尾气的分离方法,经过精馏分离后副产物中SiHCl3、HCl和H2可循环利用.并介绍了SiCl4和SiH2Cl2的处理方法,通过分析前人所做的结果发现:副产物SiCl4可用锌还原法进行处理,这样就形成西门子法与锌还原法相结合生产多晶硅的合理方法,既能降低成本,又能回收利用SiCl4,且能完全闭路循环;SiH2Cl2可用来进一步制备多晶硅.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢刚	昆明理工大学冶金与能源工程学院	223	1635	21.0	30.0
5	俞小花	昆明理工大学冶金与能源工程学院	96	514	11.0	17.0
6	李荣兴	昆明理工大学冶金与能源工程学院	67	346	11.0	14.0
7	侯彦青	昆明理工大学冶金与能源工程学院	35	159	6.0	11.0
8	宋东明	昆明理工大学冶金与能源工程学院	10	61	5.0	7.0