MEMS技术发展及其在生物芯片中的应用概述

• 作者: 李一凡 樊东鑫 蒙庆华
• 来源期刊: 广西科学院学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 微电子技术 生物芯片 传感器
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 页码范围: 528-531
• 分类号: TN409|TP212.3
• 字数: 3570字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-7378.2010.04.042

摘要

介绍微机电系统(MEMS)的技术发展概况以及MEMS在生物芯片中的应用,并对MEMS在生物芯片中的未来发展趋势进行展望.MEMS的发展极大地推动了生物芯片的发展,建议对MEMS在生物芯片中的应用进行更加系统深入的研究.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒙庆华	广西师范学院物理与电子工程学院	4	6	1.0	2.0
2	李一凡	广西师范学院物理与电子工程学院	4	12	2.0	3.0
3	樊东鑫	广西师范学院物理与电子工程学院	5	11	2.0	3.0