基于石英晶体微天平的聚醚酰亚胺湿度传感器

• 作者: 李先懿 莫晓亮 陈国荣
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 湿度传感器 石英晶体微天平 聚醚酰亚胺 频率响应
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 页码范围: 355-358
• 分类号: TP212
• 字数: 2289字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2010.04.04

摘要

研制了基于石英晶体微天平方法的聚醚酰亚胺湿度传感器,研究了它对相对湿度的响应特性和灵敏度以及这种湿度传感器在高湿度对比下的循环特性和长期老化性能.结果表明:在较宽的湿度范围内,这种湿度传感器表现出良好的湿敏特性.当相对湿度从11%变化至95%时,频率变化达2000 Hz.高湿度差对比下的响应时间和恢复时间分别为30和20 s.在循环测试和长时间老化测试中,也表现出优良的重复性和稳定性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈国荣	复旦大学材料科学系	35	270	10.0	14.0
2	莫晓亮	复旦大学材料科学系	19	118	8.0	10.0
3	李先懿	复旦大学材料科学系	2	15	1.0	2.0