用于相移点衍射干涉仪的加权最小二乘相位提取算法

• 作者: 于杰
• 来源期刊: 中国光学与应用光学
• 学科: 工学
• 关键词: 移相干涉技术 误差分析 约束方程 最小二乘法 相位提取算法
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 页码范围: 605-615
• 分类号: TH744.3|TP391.4
• 字数: 3831字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2095-1531.2010.06.011

摘要

针对现有的相位提取算法只对某些特定的误差不敏感,不能满足高精度光学检测的要求,本文引入一种等间隔多步移相算法-权重待定的加权最小二乘算法.通过在最小二乘算法中添加待定的权重,分析移相点衍射干涉仪中多种误差源对算法的影响,获得多组约束方程,从而确定权重和新算法.对新算法和标准四步算法、Hariharan五步算法进行比对分析,验证了新算法对PZT线性和二阶非线性移相不准、光强的一阶二阶波动和光源频率一阶二阶波动等误差抑制能力远远优于标准四步算法和Hariharan五步算法;新算法对CCD的量化误差、光强噪声、频率噪声的抑制能力也具有一定优势,且对CCD的二阶响应非线性完全不敏感.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于杰	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	10	15	3.0	3.0