等离子清洗在电子元器件中的应用

• 作者: 孙祖琴
• 来源期刊: 机电元件
• 学科: 工学
• 关键词: 等离子 清洗 应用
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 工艺与材料
• 页码范围: 13-15,27
• 页数: 4页
• 分类号: TM503+5
• 字数: 3084字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-6133.2010.01.003

摘要

主要介绍了等离子清洗的原理、等离子清洗的特点和优势以及等离子清洗在生产中的实际应用效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙祖琴		1	9	1.0	1.0