300 mm立式炉温度控制系统研制

• 作者: 张海轮 徐冬 程朝阳 陈亚
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 立式炉 温度控制 PID参数自整定 工艺实验
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 所属期刊栏目: IC制造工艺与设备
• 页码范围: 24-28
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.4
• 字数: 2449字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2010.04.007

摘要

针对300 mm立式炉设备,设计、实现了一套温度控制硬件系统.硬件系统由信号采集模块、PLC模块、工控机、控制信号输出模块等组成.同时,根据工艺特性,设计了一套完整的温度控制软件系统,实现了热偶信号的采集补偿、自动温区分布、PID参数自整定、轨迹规划、斜变升温、工艺恒温等一系列系统功能.温度控制及工艺实验结果表明,该温度控制系统在可靠性、稳定性、精度等方面能够满足氧化工艺的需求.现已成功应用于300 mm立式氧化炉设备.