光伏太阳能硅片清洗工艺的探索

• 作者: 杜虎明 牛进毅 王莉 马斌
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 硅片清洗 清洗工艺 表面清洗
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 页码范围: 37-39
• 分类号: TN305.97
• 字数: 2663字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2010.06.008

摘要

对两种不同清洗方法的工作原理、清洗效果和适用范围等特点进行了分析.不同的工艺应采用不同的清洗方法才能获得最佳效果.介绍了硅片清洗机的清洗工艺和腐蚀工艺.指出了硅片清洗工艺的发展趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王莉	中国电子科技集团公司第二研究所	15	50	4.0	6.0
2	杜虎明	中国电子科技集团公司第二研究所	7	10	2.0	3.0
3	马斌	中国电子科技集团公司第二研究所	9	6	2.0	2.0
4	牛进毅	中国电子科技集团公司第二研究所	6	33	4.0	5.0