基于柔性铰链机构的谐振式微加速度计设计制作

• 作者: 何晓平 何高法 吴英 周传德 唐一科
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 加速度计 谐振器 微制作工艺 有限元方法
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 所属期刊栏目: 机械科学
• 页码范围: 410-414
• 页数: 5页
• 分类号: TH7
• 语种: 中文

摘要

为设计制作高灵敏度、高稳定性的谐振式微加速度计,基于微制作工艺,采用柔性铰链机构和双端固定音叉谐振器设计了微加速度计结构;分别用解析法和有限元方法分析了加速度计的理论灵敏度,同时进行了谐振器结构优化设计;根据检测原理设计制作了测试用电路板,给出了开环谐振频率测试结果以及闭环时加速度测试结果.测试结果表明所设计的谐振式加速度计工作稳定,灵敏度约为55.03Hz/g,分辨力约为182×10~(-6)g.