基于模态叠加法的静电微泵吸合现象

• 作者: 应济 徐亮 李俊 林谢昭
• 来源期刊: 农业机械学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微泵 吸合 静电 模态叠加 降阶模型
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 所属期刊栏目: 先进制造技术及基础理论
• 页码范围: 198-203
• 分类号: TH703|TN405
• 字数: 5272字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1298.2010.05.040

摘要

利用数值计算和模态叠加法建立了静电致动泵膜的降阶模型,使复杂的吸合过程求解简单化.通过与已有文献中的结果和三维有限元计算值的比较,表明降阶模型能减少求解时间并且具有很高的精度.利用降阶模型参数化研究了残余应力、泵膜厚度、泵膜半径、极板初始间隙对泵膜吸合电压和吸合位置的影响,得到了泵膜设计的准则,为静电微泵的优化设计提供理论基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	应济	浙江大学机械工程学系	41	442	11.0	19.0
2	李俊	浙江大学机械工程学系	33	274	10.0	15.0
3	徐亮	浙江大学机械工程学系	40	91	6.0	9.0
4	林谢昭	浙江大学机械工程学系	10	32	4.0	5.0