固体开关小能量准分子激光器的设计与实验研究

• 作者: 余吟山 梁勖 游利兵
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光器 准分子 固态脉冲功率模块 金属-陶瓷结构 电晕预电离
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 所属期刊栏目: 实验技术与元件
• 页码范围: 370-373
• 页数: 4页
• 分类号: TN248.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL20103702.0370

摘要

准分子器件重复频率高于千赫兹时,闸流管作为传统的放电开关由于寿命瓶颈而不能满足长期稳定工作的要求.采用固体开关结合磁脉冲压缩技术的固态脉冲功率模块(SSPPM)来替代闸流管进行高压快速放电,激光器可在高重复频率下长寿命运行.设计了无闸流管的固体开关小能量准分子激光器,其核心技术是基于SSPPM的应用,并采用金属-陶瓷结构腔体和电晕预电离以延长气体工作寿命.电极放电电压10～14 kV,电压上升时间约150 ns,抽运功率密度3.9～7.6 MW/cm~3.ArF运转时,获得最大单脉冲能量11 mJ激光输出,最高重复频率300 Hz.其输出指标可满足当前准分子眼科设备、光谱学研究等需要.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	余吟山	中国科学院等离子体物理研究所	29	165	9.0	11.0
2	游利兵	中国科学院等离子体物理研究所	26	135	8.0	10.0
3	梁勖	中国科学院等离子体物理研究所	27	113	6.0	9.0