静电谐波微电机的静电-结构耦合有限元分析

• 作者: 秦磊 许立忠
• 来源期刊: 微电机
• 学科: 工学
• 关键词: 静电谐波 静电-结构耦合 耦合条件 边界条件 有限元
• 年，卷（期）: 2010,（7）
• 页码范围: 4-8
• 分类号: TM359.9|TH132.2
• 字数: 3144字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-6848.2010.07.002

摘要

该文介绍了静电谐波微电机的基本工作原理.通过分析系统中存在的静电结构耦合关系,并进行离散化处理,建立了结构场和静电场的有限元耦合平衡方程.讨论了静电场和结构场之间存在的耦合条件和各场的边界条件.由结点映射推导出位移和力在两物理场交界面上传递的表达式.总结了静电-结构耦合问题的迭代求解框图和详细步骤.通过对系统的有限元仿真,得到了柔轮的径向位移分布及其随系统参数的变化规律.所得的结果为进一步研究微电机的性能提供了依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	秦磊		6	12	2.0	3.0
5	许立忠		81	306	9.0	13.0