基于单幅干涉图的波前重构技术研究

• 作者: 于雪莲 刘超 姚勇 孙云旭 田佳峻 赵新辉
• 来源期刊: 光学与光电技术
• 学科: 工学
• 关键词: 图像处理 波前重构 条纹中心法 泽尼克多项式
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 图像与信号处理
• 页码范围: 39-43
• 页数: 5页
• 分类号: TN911.73
• 字数: 3024字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-3392.2010.01.009

摘要

条纹中心法是干涉测量技术中分析单幅干涉图的一种重要处理方法,该方法主要包括图像预处理、波前重构和样品表面形貌及参数的测量等三个部分.研究了条纹中心法的关键技术,特别是应用协方差矩阵法求解泽尼克多项式以进行波前重构的过程.提出了基于单幅干涉图自动波前重构的流程方法.最后应用该流程方法处理由泰曼-格林干涉系统采集的精密抛光铝制盘基片表面形成的一幅干涉图像.实验结果表明,该方法可以实现单幅干涉图的自动波前重构,干涉波前重构的拟合精度可达1.468 6×10-6 nm,还可以自动获得精密抛光铝制盘基片表面的形貌及参数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘超	哈尔滨工业大学深圳研究生院	32	183	8.0	12.0
2	姚勇	哈尔滨工业大学深圳研究生院	15	41	3.0	5.0
3	孙云旭	哈尔滨工业大学深圳研究生院	4	16	2.0	4.0
4	于雪莲	哈尔滨工业大学深圳研究生院	3	4	2.0	2.0
6	田佳峻	哈尔滨工业大学深圳研究生院	3	16	2.0	3.0
7	赵新辉	哈尔滨工业大学深圳研究生院	2	16	2.0	2.0