UV Assisted Thermal Curing： Overview and Fundamental Understanding through Spin-on and PECVD Processes

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UV Assisted Thermal Curing： Overview and Fundamental Understanding through Spin-on and PECVD Processes

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紫外线辐射

热固化

CVD工艺

超低介电常数

固化反应动力学

综述

自旋

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关键词热度

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篇名	UV Assisted Thermal Curing： Overview and Fundamental Understanding through Spin-on and PECVD Processes
来源期刊	材料科学与工程：中英文版	学科	工学
关键词	紫外线辐射热固化 CVD工艺超低介电常数固化反应动力学综述 PE 自旋
年，卷（期）	2010,（7）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	69-73
页数	5页	分类号	TQ433.437
字数		语种
DOI