0.5 m超薄镜主动支撑面形校正及实验

• 作者: 余景池 曾春梅 郭培基
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 超薄镜 主动支撑 致动器 面形校正 序列二次规划法 有限元法
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 570-578
• 页数: 9页
• 分类号: TH751.1
• 字数: 5372字
• 语种: 中文

摘要

为了研究主动支撑条件对超薄镜面形误差的校正能力,以一个直径0.5 m的超薄镜为例进行了面形校正的仿真分析及实验验证.分析了致动器作用力与超薄镜面形的关系,引入了一些需校正的面形误差,如初级球差、慧差、像散及重力变形等,确定了致动器作用力的优化目标,用求解非线性约束问题的优化算法--序列二次规划法计算了校正面形误差所需的致动器作用力,得到了超薄镜面形残余误差.仿真分析表明,对于归一化系数为1的初始球差、慧差、像散以及它们的叠加,用本文提供的致动器排布方式可以将面形误差校正到RMSλ/24以内,且对初级像散的校正能力最强,慧差和球差次之;竖直放置时的重力变形加上3种低阶像差的叠加也可被校正到RMSλ/24.在得到主动支撑的0.5 m实验镜的初始面形结果后,重新计算了优化力和面形误差,结果表明,计算结果和实际装调结果基本一致,RMS约为λ/7.计算分析了超薄镜面形未能达到预期目标的原因,提出了适当增加致动器和提高超薄镜初始面形精度的改进方案,并最终使超薄镜面形达到RMSλ/20的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭培基	苏州大学现代光学技术研究所	25	387	12.0	19.0
2	余景池	苏州大学江苏省现代光学技术重点实验室	41	634	17.0	23.0
3	曾春梅	苏州大学江苏省现代光学技术重点实验室	5	36	3.0	5.0