划片机高速空气静压电主轴关键技术的研究

• 作者: 卫桁 王明权
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 空气静压电主轴 空气轴承 主轴电机 动平衡 热变形
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 页码范围: 16-20
• 分类号: TN305
• 字数: 5051字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2010.06.004

摘要

划片机是最关键的集成电路封装设备,高速空气静压电主轴是划片机的核心部件.从主轴结构出发,研究空气轴承、主轴电机、动平衡、转子与旋转轴的联接、精密加工、主轴热变形的控制等高速空气静压电主轴的关键技术.