新型低温等离子体技术及应用

• 作者: 王春安 闫俊虎
• 来源期刊: 广东技术师范学院学报(自然科学版)
• 学科: 物理学
• 关键词: 低温等离子体 ECR等离子体 ICP等离子体 HWP等离子体
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 页码范围: 22-25
• 分类号: O434.14
• 字数: 2961字
• 语种: 中文

摘要

等离子体尤其是低温等离子体由于其一系列特殊的性质,广泛应用于薄膜沉积、微电路干法刻蚀、材料表面改性等方面.本文介绍了目前经常采用的几种新型低温等离子体技术,电子回旋共振(ECR)等离子体、射频感应耦合(ICP)等离子体、以及螺旋波(HWP)等离子体.这几种等离子体由于无内电极放电无污染、等离子体密度高、能量转换率高、电离度高等优点必将在传统工艺的基础上得到更广泛的应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王春安		12	22	2.0	4.0
2	闫俊虎		4	24	2.0	4.0