新型纳米三坐标测量机误差检定方法的研究

• 作者: 俞庆平 卢荣胜 夏瑞雪 陈晓怀
• 来源期刊: 电子测量与仪器学报
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米三坐标测量机 激光干涉仪 误差检定 三次样条函数
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 250-256
• 页数: 7页
• 分类号: TH711
• 字数: 3094字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3724/SP.J.1187.2010.00250

摘要

以三光束平面镜微型激光干涉仪作为高精度的标准量, 研究新型纳米三坐标测量机的误差检定方法, 设计相应的激光头姿态调节架和目标靶镜, 组建一套适用于其的误差检定系统, 分四次即可实现对测量精度影响较大的11项单项误差进行相对高精度、便捷、同步地检定.以LabVIEW作为软件开发平台, 基于三次样条插值算法, 编写对单项误差的采样数据进行插值计算的应用程序, 以求得单项误差在量程范围内任意位置的值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	夏瑞雪	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	13	127	6.0	11.0
2	陈晓怀	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	100	1009	16.0	25.0
3	卢荣胜	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	85	767	17.0	22.0
4	俞庆平	合肥工业大学仪器科学与光电工程学院	3	66	2.0	3.0