利用典型Si(100)微结构对原子力显微镜探针参数进行表征

• 作者: 景蔚萱 朱明智 蒋庄德 韩国强
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 MEMS 各向异性化学湿法刻蚀 原子力显微镜 线宽测量 探针表征
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 页码范围: 426-429
• 分类号: TB92
• 字数: 1574字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2010.05.10

摘要

利用各向异性化学湿法刻蚀工艺在Si(100)上加工了具有本征侧墙角(54.73°)的典型微机电系统(MEMS)梯形结构.用该微结构作为线宽测试结构,对其进行了原子力显微镜(AFM)和扫描电子显微镜(SEM)线宽和轮廓的比对测量.并对AFM探针和样品耦合效应进行了研究,提出了AFM探针参数动态表征的模型,基于几何模型对线宽和轮廓测量中探针针尖形状和针尖位置参数进行了表征,提出了用曲率半径、安装倾角、扫描倾角和针尖半顶角来对原子力显微镜探针针尖进行表征.该方法是对现有AFM探针表征模型的改进和完善.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋庄德	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	165	1512	18.0	28.0
2	景蔚萱	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	17	72	5.0	7.0
3	朱明智	中国工程物理研究院总体工程研究所	14	82	5.0	8.0
4	韩国强	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	2	4	1.0	2.0