应用聚焦离子束/电子束技术的碳纳米管探针制备工艺研究

• 作者: 张少婧 徐宗伟 房丰洲 韩涛
• 来源期刊: 现代制造工程
• 学科: 工学
• 关键词: 碳纳米管探针 原子力显微镜 聚焦离子束 微纳制造
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 5-8,118
• 页数: 5页
• 分类号: TN29
• 字数: 2748字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-3133.2010.03.003

摘要

提出利用电子束诱导铂沉积和聚焦离子束铣削技术,实现碳纳米管原子力显微镜探针针尖的制备和结构优化研究.结合高分辨率扫描电子显微镜观测和纳米操纵仪,利用电子束诱导铂沉积实现碳纳米管固定到普通原子力显微镜探针末端,可实现直径小于φ10nm的纳米管探针制备.提出基于聚焦离子束铣削和照射技术实现对纳米管针尖的长度、角度的精确调控优化,纳米管探针的角度调控精度优于1°.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	房丰洲	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室天津市微纳制造技术工程中心	60	448	12.0	18.0
5	徐宗伟	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室天津市微纳制造技术工程中心	18	87	6.0	9.0
7	韩涛	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室天津市微纳制造技术工程中心	18	152	7.0	12.0
10	张少婧	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室天津市微纳制造技术工程中心	7	73	5.0	7.0