基于工业以太网的MOCVD反应腔压力控制

• 作者: 常依斌
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: MOCVD 反应腔 ProfiNet 压力控制
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 所属期刊栏目: 技术产品应用
• 页码范围: 36-38
• 页数: 3页
• 分类号: TP393.11
• 字数: 1507字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2010.04.010

摘要

介绍了一种新型MOCVD反应腔压力控制系统,采用MKS最新蝶阀T3BI,其内部集成了压力控制器,并且带有压力传感器接口.反应腔内目标压力由主控PC通过工业以太网ProfiNet发送到蝶阀,接下来压力控制子系统即可完成整个压力控制过程.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	常依斌		1	0	0.0	0.0