研究蚀刻液稳定性的一种方法

• 作者: 傅玉婷 巴俊洲 蒋亚雄 颜飞雪
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 化学蚀刻 蚀刻液 稳定性
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 应用技术
• 页码范围: 91-92,96
• 页数: 3页
• 分类号: TG176|TN305.7
• 字数: 1887字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3660.2010.01.025

摘要

为了得到更好的蚀刻效果,有必要研究蚀刻液的稳定性,因而研究方法显得尤为重要.研究了3组各成分含量不同的蚀刻液的稳定性,通过原子发射光谱法测得蚀刻液中Ni2+浓度,并间接计算出腐蚀量,对比考察了根据蚀刻速率-腐蚀量的关系和蚀刻速率-时间的关系研究蚀刻液稳定性这2种方法.实验结果证明:根据蚀刻速率-腐蚀量的关系研究蚀刻液的稳定性具有可行性,且更具优越性;同时,3种蚀刻液中,1B42稳定性最好,且该蚀刻液的最大金属腐蚀量为3 g/L.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	巴俊洲	中国船舶重工集团公司第七一八研究所	26	65	5.0	7.0
2	蒋亚雄	中国船舶重工集团公司第七一八研究所	31	66	5.0	7.0
3	傅玉婷	中国船舶重工集团公司第七一八研究所	9	10	1.0	3.0
4	颜飞雪	中国船舶重工集团公司第七一八研究所	24	17	2.0	3.0