纳米检焦中双相锁相放大器的Simulink建模与仿真

• 作者: 严伟 唐小萍 胡松 谢飞
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 实时检焦技术 微弱电信号 双相锁相放大器 Simulink 离焦量
• 年，卷（期）: 2010,（9）
• 页码范围: 580-586
• 分类号: TN305.7
• 字数: 4496字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2010.09.010

摘要

针对纳米量级实时检焦技术中光电探测器输出的微弱电信号,提出利用双相锁相放大原理对该信号进行在线检测、放大、滤波及解调,经过一系列处理后得到硅片的实时离焦量,以确定其是否在有效焦深范围内,保证曝光质量.主要利用Matlab的Simulink工具包对这一方案的可行性进行了仿真验证.从仿真结果可以看出,基于双相锁相放大器的双相锁相放大技术能够很好地提取出硅片离焦量信号,且无需依赖移相器.该方法相对传统方法而言,能够更精确地获取硅片离焦量,有利于大幅度提高检焦精度,同时也为今后的实用化奠定了理论基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐小萍	中国科学院光电技术研究所	32	193	8.0	12.0
2	严伟	中国科学院光电技术研究所	67	294	10.0	13.0
3	胡松	中国科学院光电技术研究所	93	705	12.0	24.0
4	谢飞	中国科学院光电技术研究所	20	223	8.0	14.0