固结金刚石线锯锯切硅片的正交试验研究

• 作者: 左敦稳 戴军之 王珉 赵礼刚
• 来源期刊: 机械制造与自动化
• 学科: 工学
• 关键词: 硅片 固结金刚石线锯 正交试验研究
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 页码范围: 13-15
• 分类号: TG56
• 字数: 2094字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-5276.2010.05.004

摘要

对固结金刚石线锯锯切硅片的工艺参数进行了正交试验研究.分析了工件进给速度、锯丝线速度和锯丝张紧力对硅片表面粗糙度的影响,获得了基于降低硅片表面粗糙度的最佳工艺参数.在本试验范围内,最佳工艺参数为:工件进给速度为0.5mm/min,锯丝张紧力为0.22MPa,锯丝线速度为1.5~1.8m/s.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	左敦稳	南京航空航天大学机电学院	510	3780	26.0	32.0
2	赵礼刚	南京航空航天大学机电学院	5	46	4.0	5.0
3	王珉	南京航空航天大学机电学院	205	2631	27.0	40.0
4	戴军之	南京航空航天大学机电学院	2	17	2.0	2.0