环境气体种类对烧蚀粒子输运动力学的影响

• 作者: 丁学成 傅广生 杨宝柱 王世俊 王英龙
• 来源期刊: 河北大学学报(自然科学版)
• 学科: 物理学
• 关键词: 蒙特-卡罗模拟 气体种类 烧蚀粒子 时空分布
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 页码范围: 361-364,433
• 分类号: O781
• 字数: 2718字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1565.2010.04.006

摘要

为深入理解纳米硅(Si)晶粒的成核机理,实现纳米Si晶粒的均匀可控, 采用蒙特-卡罗(Monte Carlo)模拟方法, 对脉冲激光烧蚀单晶Si靶沉积纳米Si晶薄膜过程中烧蚀粒子在环境气体中的输运动力学过程进行了模拟,并研究了环境气体种类对烧蚀粒子时空分布的影响. 研究结果表明, 当环境气体种类确定时, 随着时间的推移, 烧蚀粒子强度分布的峰值右移;并且在He环境气体中烧蚀粒子的传播距离最大, 在Ar环境气体中烧蚀粒子传播距离最小;随着距靶的距离增加, 烧蚀粒子的强度减小, 在Ne环境气体中传输的烧蚀粒子出现二次强度峰的时间最早, 并且强度峰值最大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	傅广生	河北大学物理科学与技术学院	184	817	13.0	17.0
2	杨宝柱	河北大学物理科学与技术学院	15	33	4.0	4.0
3	丁学成	河北大学物理科学与技术学院	44	89	5.0	7.0
4	王英龙	河北大学物理科学与技术学院	96	301	9.0	12.0
5	王世俊	河北大学物理科学与技术学院	2	3	1.0	1.0