太阳能电池中晶体硅绒面的制作研究

• 作者: 常美茹 李志远
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 绒面 腐蚀 表面织构
• 年，卷（期）: 2010,（7）
• 页码范围: 39-42
• 分类号: TM615
• 字数: 3055字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2010.07.011

摘要

重点是研究不同腐蚀条件对晶体硅片表面织构形貌的影响.通过分析腐蚀条件对表面微结构均匀性的影响,用金相显微镜观察绒面的表面织构形貌,对结果进行分析讨论,确定合理的工艺条件,为实际生产过程中制作良好绒面提供一种最佳工艺条件的参数范围.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	常美茹	中国电子科技集团公司第四十六研究所	4	45	3.0	4.0
2	李志远	中国电子科技集团公司第四十六研究所	4	8	2.0	2.0