基于误差递减修正法的非球面超精密加工

• 作者: 张效栋 房丰洲 程颖
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 工学
• 关键词: 非球面 超精密加工 车削 误差递减修正
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 光学工艺
• 页码范围: 51-55
• 页数: 5页
• 分类号: TH741.4
• 字数: 3318字
• 语种: 中文

摘要

误差滤波和分离技术是超精密加工中的关键技术之一.采用误差递减法修正加工路径,利用修正的高斯权函数对测量表面进行滤波处理,设计并完成了整个误差递减系统,实现非球面的超精密车削加工,并在很大程度上提高其表面精度(P-V值).通过实验验证,利用该加工方法,提高了加工效率,可明显地提高非球面的表面精度,最终达到面形精度小于200nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	程颖		1	7	1.0	1.0
2	房丰洲		1	7	1.0	1.0
3	张效栋		1	7	1.0	1.0