应用多模式组合加工技术修正大口径非球面环带误差

• 作者: 宋淑梅 宣斌 李俊峰 王朋 谢京江 陈亚 陈晓苹
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 大口径光学元件 环带误差 多模式组合加工 机械手
• 年，卷（期）: 2010,（7）
• 页码范围: 1460-1467
• 分类号: TH743|TQ171.684
• 字数: 4062字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20101807.1460

摘要

为了满足大口径非球面光学元件加工的需求,提出了用多模式组合加工(MCM)技术修正大口径非球面反射镜环带误差的方法.本文讨论的MCM技术以经典加工工艺为基础,采用抛光盘的多工位加工和抛光模式的组合完成光学元件的抛光,实现对光学表面中低频段误差的有效控制.介绍了MCM技术的重要组成部分JP-01抛光机械手的工作原理,分析了MCM的工作模式.采用MCM技术对Φ1 230 mm的非球面反射镜进行环带误差的修正,给出了镜面面形检测结果.实验结果表明,MCM技术可以有效地控制光学表面的中低频误差,使光学表面误差得到有效收敛,从而显著提高抛光效率.目前,采用MCM技术加工1～2 m口径的同轴非球面,其精度可以达到30 nm(RMS).