大口径非球面的组合加工

• 作者: 刘振宇 张学军 罗霄 邓伟杰 郑立功
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 大口径非球面 组合加工 研磨 抛光 矩阵方程 收敛效率
• 年，卷（期）: 2013,（11）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 2791-2797
• 页数: 7页
• 分类号: TH703|TQ171.68
• 字数: 4008字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20132111.2791

摘要

为提高大口径非球面光学反射镜研磨与抛光阶段的加工效率,提出了一种采用多磨头组合方式同时提高材料去除效率和面形收敛率的加工方法.该方法基于矩阵运算,在一次优化过程中同时优化多个加工循环,并对传统的单去除函数驻留时间求解过程进行扩展,以实现多去除函数的综合优化求解.由于扩展了驻留时间求解范围,使大磨头和小磨头在加工过程中优势互补,实现了多个磨头多个加工循环的全局优化.最后,采用计算机虚拟加工的方法对等厚和实际加工中的面形误差进行加工模拟.结果表明:与传统的驻留时间求解算法相比,提出的方法使加工效率提高了50％,RMS收敛率与小磨头相当.实际面形仿真加工结果显示,RMS由0.011 5变为0.004 4,收敛率为0.621 2,满足实际加工要求.该技术有效缩短了加工周期,具有很强的实用性.