大口径非球面元件可控气囊抛光系统

• 作者: 杨炜 潘日 王健 王振忠 郭隐彪 钟波
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 大口径非球面光学元件 进动抛光 可控气囊抛光系统 设计及研制
• 年，卷（期）: 2012,（6）
• 所属期刊栏目: 高功率激光与光学
• 页码范围: 1344-1348
• 分类号: TG701
• 字数: 2341字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/HPLPB20122406.1344

摘要

根据大口径非球面光学元件的实际加工需要,设计并制造可控气囊抛光系统,并对机构进行运动学仿真,仿真结果表明,气囊自转轴的运动空间可以满足大口径非球面光学元件的连续进动加工要求.为了证明所设计系统的可加工性,以直径320mm的圆形平面光学元件进行加工实验.经过该气囊抛光工具24 h的抛光后,工件达到较好的面型精度,光学元件的表面粗糙度由0.272λ减小到0.068λ(λ=632.8 nm),PV值从1.671λ降低到0.905λ.对光学元件的实际加工实验结果表明:可控气囊抛光系统在加工过程中结构稳定性好,符合设计要求,可有效提高加工工件面型精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭隐彪	厦门大学物理与机电工程学院	115	781	14.0	20.0
2	王振忠	厦门大学物理与机电工程学院	36	287	10.0	15.0
3	潘日	厦门大学物理与机电工程学院	10	122	8.0	10.0
4	王健	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	29	117	6.0	10.0
5	杨炜	厦门大学物理与机电工程学院	16	100	6.0	9.0
6	钟波	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	6	19	2.0	4.0