溶胶-凝胶法制备SiO2薄膜的工艺研究

• 作者: 姚雪亮 李茜琪 王海风
• 来源期刊: 材料导报：纳米与新材料专辑
• 学科: 工学
• 关键词: 溶胶凝胶法 透过率 反射率 显微硬度 抗弯强度
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 页码范围: 72-74
• 页数: 3页
• 分类号: TB383

摘要

以正硅酸乙酯为前驱体、乙醇为溶剂，通过酸催化，采用溶胶-凝胶法制备SiO2薄膜，通过正交实验确定最佳工艺方案，并讨论影响SiO2薄膜结构和性质的主要因素，研究了最佳配方SiO2薄膜的表面形貌、光学性能和力学性能等。结果表明，影响光学性能的主要因素是正硅酸乙酯和水；影响显微硬度的主要因素是乙醇；膜层结构为非晶态；薄膜具有增透效果并可提高试样的抗弯强度。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王海风	东华大学材料科学与工程学院	53	143	7.0	8.0
2	李茜琪	东华大学材料科学与工程学院	3	24	2.0	3.0
3	姚雪亮	东华大学材料科学与工程学院	2	10	1.0	2.0