一种应用于曝光机的新型z向系统方案及实验研究

• 作者: 李霖
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: z向系统 气动控制 空气轴承
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 光刻与刻蚀
• 页码范围: 37-40
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 2198字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2010.01.009

摘要

z向系统是接触式曝光机的关键部件之一.设计了一种曝光机的新型z向系统方案,该方案采用气动控制的方式,通过控制气体压力来调整接触力,用空气轴承导向,完成找平、微分离的自动控制.对z向系统设计原理进行了详细介绍,并通过实验对其部分功能进行了验证.