高产能四管卧式热壁型PECVD设备

• 作者: 宋晓彬 张燕 郑建宇
• 来源期刊: 电子元器件资讯
• 学科: 工学
• 关键词: PECVD高产能 自动化程度 性价比
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 所属期刊栏目: 晶体硅太阳能电池制造设备
• 页码范围: 8-10
• 分类号: TM91
• 字数: 2972字
• 语种: 中文

摘要

本文介绍了我公司自主创新产品国内首台带有自动上下料系统的高产能四管卧式热壁型PECVD设备,该设备具有高产能、自动化程度高、成膜质量好、高性价比等特点,文中着重阐述了该设备的技术先进性及性能指标.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑建宇		4	4	2.0	2.0
2	宋晓彬		2	0	0.0	0.0
3	张燕		2	0	0.0	0.0