Langmuir探针诊断低压氢等离子体电子密度与温度

• 作者: 吴卫东 戴阳 王海平 葛芳芳 马婷婷 高映雪 黄竞
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: 螺旋波等离子体 Langmuir探针 双曲正切函数 Druyvesteyn方法 状态参数
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 1234-1238
• 分类号: O53
• 字数: 3165字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/HPLPB20102206.1234

摘要

为研究实验参数对螺旋波诱导的低压氢等离子体状态的影响,用Langmuir探针对等离子体伏安特性曲线进行了原位诊断,采用双曲正切函数的指数变换模型拟合曲线,根据Druyvesteyn方法得到状态参数电子密度、有效电子温度和电子能量几率函数,分析了它们随实验参数的变化规律.结果表明:射频输入功率、气压和约束磁场对等离子体状态有较大影响.随着射频射入功率增大,放电模式发生转变,电子密度跳跃增长;随着气压增大,电子密度先增大后减小,1.5 Pa为最佳电离气压,随约束磁场的增强呈线性增长;有效电子温度随功率和气压的增大而下降,随约束磁场的增强线性降低,电子能量几率函数曲线峰位和高能部分都向低能移动,与有效电子温度变化规律吻合.