基于微机电子系统技术高性能气相色谱柱的制备

• 作者: 任艳飞 孙建海 宁占武 崔大付 张璐璐 张艳妮 李辉 蔡浩原 陈兴
• 来源期刊: 分析化学
• 学科: 化学
• 关键词: 微型色谱柱 分离度 理论板塔数 微机电系统
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 所属期刊栏目: 仪器装置与实验技术
• 页码范围: 293-295
• 页数: 3页
• 分类号: O65
• 字数: 1617字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3724/SP.J.1096.2010.00293

摘要

基于微机电系统(Micro-electro-mechanical systems,MEMS)技术,制作了微型气相色谱柱,并对其性能进行了研究.与传统色谱柱相比,此微型色谱柱具有体积小,分析速度快等特点,适用于在线检测分析与监测.本研究利用深刻蚀技术与动态涂覆固定相的方法,设计制作了0.5, 1.0及3.0 m色谱柱,实现了对苯,甲苯和邻二甲苯的分离.其中,3.0 m色谱柱对甲苯和邻二甲苯的分离度达14.3,理论板塔数达6160,分离时间少于200 s.考察了柱长对色谱柱分离性能的影响.此微型色谱柱可广泛应用于家居安全,瓦斯监测以及环境检测等领域.