初始溅射烧蚀粒子总数对其传输中的密度和速度分布的影响

• 作者: 丁学成 傅广生 梁伟华 王英龙 褚立志 邓泽超
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 密度分布 蒙特卡罗模拟 速度分布 高密度峰
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 所属期刊栏目: 激光应用
• 页码范围: 1127-1131
• 页数: 5页
• 分类号: TG156.99|O484
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL20103704.1127

摘要

采用蒙特卡罗(Monte Carlo)模拟方法,研究了初始烧蚀粒子总数对其传输中的密度和速度及环境气体密度分布的影响.结果表明,随着烧蚀粒子总数增加,烧蚀粒子高密度峰离开靶的最大距离增大,到距靶最大距离处所用时间,出现先增大后减小的变化,烧蚀Si粒子的速度分布随粒子总数增多而变宽,当粒子总数为1.O1×10(15)和1.01×10(16)时,出现速度劈裂现象.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	傅广生		184	817	13.0	17.0
2	邓泽超		48	123	6.0	8.0
3	褚立志		47	155	7.0	10.0
4	丁学成		44	89	5.0	7.0
5	梁伟华		36	92	6.0	8.0
6	王英龙		96	301	9.0	12.0