基于微机电系统技术的微型热电致冷器研究进展

• 作者: 任大海 卢凯 尤政 戴震宇
• 来源期刊: 机械工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 热电 致冷器 超晶格薄膜
• 年，卷（期）: 2010,（8）
• 所属期刊栏目: 新能源与工程热物理
• 页码范围: 114-120
• 分类号: TB61
• 字数: 6122字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3901/JME.2010.08.114

摘要

介绍热电材料、热电器件的原理及发展历史,从材料及结构两方面,对基于微机电系统加工工艺的微型热电致冷器的最新研究进展进行综述,比较不同材料及不同结构的性能特点,对块体热电材料和低维热电材料的研究进展进行介绍,着重分析超晶格薄膜材料及Cross-Plane型器件,指出研究具有更高优值系数的新型材料,在维持Seebeck系数不变的同时提高电导率并降低热导率,及采用新的加工工艺优化致冷器的结构,减小接触电阻、接触热阻等,是提高热电致冷器性能的有效手段.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	尤政	清华大学精密仪器与机械学系	175	1605	21.0	32.0
5	任大海	清华大学精密仪器与机械学系	25	422	10.0	20.0
9	卢凯	清华大学精密仪器与机械学系	1	6	1.0	1.0
10	戴震宇	清华大学精密仪器与机械学系	1	6	1.0	1.0