激光脉冲波形对烧蚀Si靶表面温度的影响

• 作者: 丁学成 傅广生 梁伟华 王世俊 王英龙 褚立志 邓泽超
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 激光烧蚀 双温方程 脉冲波形 载流子 耦合时间
• 年，卷（期）: 2010,（8）
• 页码范围: 1843-1846
• 分类号: TN304.055
• 字数: 2149字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/HPLPB201002208.1843

摘要

利用双温方程对激光烧蚀Si靶的过程进行了数值模拟,并结合合适的初始条件和边界条件,研究了在飞秒、皮秒激光作用下,脉冲波形(矩形、梯形、三角形和高斯形)对Si靶表面载流子和晶格温度分布的影响.结果表明:激光功率密度是影响载流子温升的主要因素,矩形脉冲激光烧蚀Si靶表面载流子的峰值温度最高,而高斯分布的脉冲引起靶面载流子峰值温度最低.可见,激光脉冲波形对Si靶表面载流子的温度分布具有重要影响.所得结果可为制备高质量的薄膜提供理论依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	傅广生	河北大学物理科学与技术学院	184	817	13.0	17.0
2	邓泽超	河北大学物理科学与技术学院	48	123	6.0	8.0
3	褚立志	河北大学物理科学与技术学院	47	155	7.0	10.0
4	丁学成	河北大学物理科学与技术学院	44	89	5.0	7.0
5	梁伟华	河北大学物理科学与技术学院	36	92	6.0	8.0
6	王英龙	河北大学物理科学与技术学院	96	301	9.0	12.0
7	王世俊	河北大学物理科学与技术学院	2	3	1.0	1.0