点衍射波前位相的测评

• 作者: 陈土泉 马冬梅
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 点衍射 波相差 傅里叶变换 位相复原 迭代算法
• 年，卷（期）: 2010,（11）
• 页码范围: 2390-2397
• 分类号: O436.1|TH744.3
• 字数: 3372字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20101811.2390

摘要

提出一种检测点衍射干涉仪关键部件针孔所产生的衍射光学波前的方法.介绍了点衍射波前的产生原理,分析了小孔质量状态、照明光路调整状态与波前各个像差分量之间的关系.基于信息光学基础理论,采用傅里叶变换和迭代算法,采集针孔衍射图像并进行计算分析,实现对衍射波前的位相复原以获得波前信息.阐述了测试方法的理论依据和计算公式,应用研制的位相复原分析计算软件测试并分析了实际采集的点衍射图像,通过15次的迭代,输出的位相值逐渐收敛,图像误差因子下降到0.12.目前,该方法已用于对针孔的筛选和针孔照明系统的装调中,实验结果证明了该测试方法的可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马冬梅	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	48	388	11.0	15.0