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推广型Ⅲ族氮化物HVPE材料生长系统

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文献信息

篇名	推广型Ⅲ族氮化物HVPE材料生长系统
来源期刊	中国科技成果	学科	工学
关键词
年，卷（期）	2010,（12）	所属期刊栏目	科技计划成果
研究方向		页码范围	21
页数		分类号	TB3
字数	1062字	语种	中文
DOI	10.3772/j.issn.1009-5659.2010.12.009

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1009-5659

11-4484/N

北京复兴路15号245室中国科技成果编辑部

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