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高功率KrF准分子激光光束平滑技术实验研究
惯性约束聚变
无阶梯诱导空间非相干
均匀性
带宽
相干时间
准分子激光光束均匀技术
准分子激光
光束均匀
蝇眼
光刻
高功率紫外超短激光脉冲光束质量研究
超短脉冲
K rF激光
光束质量评价
准分子激光光束均匀性的评价指标研究
准分子激光
光束均匀性
加工窗口
平顶因子
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 高功率KrF准分子激光光束均匀性研究
来源期刊 中国原子能科学研究院年报 学科 工学
关键词 KrF准分子激光 光束均匀性 无阶梯诱导空间非相干 高功率 光束平滑技术 激光系统 平滑处理 均匀辐照
年,卷(期) 2010,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 312-313
页数 2页 分类号 TN929.11
字数 语种 中文
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研究主题发展历程
节点文献
KrF准分子激光
光束均匀性
无阶梯诱导空间非相干
高功率
光束平滑技术
激光系统
平滑处理
均匀辐照
研究起点
研究来源
研究分支
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引文网络交叉学科
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期刊影响力
中国原子能科学研究院年报
年刊
大16开
北京275信箱65分箱
1978
chi
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