基于AHP和规则的多目标晶圆制造派工方法的应用

• 作者: 全鹏 李娜 江志斌 闵亚能
• 来源期刊: 工业工程与管理
• 学科: 经济
• 关键词: 晶圆制造 时变多目标 派工规则 层次分析法
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 所属期刊栏目: 理论与方法
• 页码范围: 113-117,123
• 分类号: F406
• 字数: 3744字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-5429.2011.04.019

摘要

针对半导体晶圆制造系统调度的时变多目标特性,提出基于AHP和规则的多目标派工方法,在不同时期,赋予各调度目标不同的权重,通过仿真实验得到判断矩阵,然后用层次分析法来选择各设备的派工规则,并进行了敏感性分析,为半导体晶圆制造系统的科学管理提供了有效的实现途径.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李娜	上海交通大学机械与动力工程学院	93	620	12.0	21.0
2	江志斌	上海交通大学机械与动力工程学院	161	2126	22.0	39.0
3	全鹏		1	2	1.0	1.0
4	闵亚能		1	2	1.0	1.0